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日本小金井FRL终端过滤器减压阀

更新时间:2018-05-28

简要描述:

内载线过滤器PLF系列

●采用多孔中空丝膜滤芯,保证了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。
●过滤精度高、小型流量大、寿命长
●是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器

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内载线过滤器PLF系列
●采用多孔中空丝膜滤芯,保证了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。
●过滤精度高、小型流量大、寿命长
●是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器
内载线过滤器PLF系列


过滤精度处理空气量配管连接口径
0.01μm50~100 l/minM5.Rc1/8
锚点
净化管路过滤器CLF系列
●滤芯是PTFE制膜和PTFE制不织布构成的双重构造确保了本产品的安定的性能。可以100%地捕捉0.01μm的微粒子
●使用的部件在无尘清洁室里进行了精密清洗。附着的微粒子极少,能立即投入使用。
净化管路过滤器CLF系列

过滤精度处理空气量配管连接口径
0.01μm100 l/minRc1/8.Rc1/4
锚点
不锈钢调压阀RS系列
●zui适合于液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中的携带气体压力控制、喷气压力控制、净化空气、天然气体压力控制等,还有需要耐腐蚀性的食品相关工业及无需润滑油、机油的生产线。
不锈钢调压阀RS系列


压力设定
MPa
处理空气量配管连接口径
0.05~0.70~
800 l/min
M5~Rc1/4
锚点
精密不锈钢调压阀PRS系列
●zui适合于液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中的携带气体压力控制、喷气压力控制、净化空气、天然气体压力控制等,能进行高精度的设定(感度0.001MPa)
精密不锈钢调压阀PRS系列


压力设定
MPa
处理空气量配管连接口径
0.01~0.250~
250 l/min
M5~Rc1/4

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