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日本小金井FRL终端过滤器减压阀

更新时间：2018-05-28

简要描述：

内载线过滤器PLF系列

●采用多孔中空丝膜滤芯，保证了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。
●过滤精度高、小型流量大、寿命长
●是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器

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内载线过滤器PLF系列

●采用多孔中空丝膜滤芯，保证了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。
●过滤精度高、小型流量大、寿命长
●是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器

过滤精度	处理空气量	配管连接口径
0.01μm	50～100 l/min	M5.Rc1/8

净化管路过滤器CLF系列

●滤芯是PTFE制膜和PTFE制不织布构成的双重构造确保了本产品的安定的性能。可以100%地捕捉0.01μm的微粒子
●使用的部件在无尘清洁室里进行了精密清洗。附着的微粒子极少，能立即投入使用。

过滤精度	处理空气量	配管连接口径
0.01μm	100 l/min	Rc1/8.Rc1/4

不锈钢调压阀RS系列

●于液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中的携带气体压力控制、喷气压力控制、净化空气、天然气体压力控制等，还有需要耐腐蚀性的食品相关工业及无需润滑油、机油的生产线。

压力设定 MPa	处理空气量	配管连接口径
0.05～0.7	0～ 800 l/min	M5～Rc1/4

精密不锈钢调压阀PRS系列

●于液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中的携带气体压力控制、喷气压力控制、净化空气、天然气体压力控制等，能进行高精度的设定（感度0.001MPa）

压力设定 MPa	处理空气量	配管连接口径
0.01～0.25	0～ 250 l/min	M5～Rc1/4

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